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蘇州多威儀器設(shè)備有限公司

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激光掃描共焦顯微鏡 OLS3000

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蘇州多威儀器設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

●高的分辨率、高精度、XY分辨率可達(dá)0.12微米●3D成像，高精度測(cè)量，Z軸最小讀數(shù)精度0.01微米

詳細(xì)介紹

● 高的分辨率、高精度、XY分辨率可達(dá)0.12微米

●3D成像，高精度測(cè)量，Z軸最小讀數(shù)精度0.01微米。

●實(shí)時(shí)像的獲得和測(cè)量同時(shí)。

●408nm激光采用

激光掃描共焦顯微鏡OLS3000可進(jìn)行如下檢測(cè)：

1）測(cè)量

2D測(cè)量：測(cè)量范圍1.5mm～1 μm；
不僅是線寬度，也能進(jìn)行圓的直徑等幾何測(cè)量。
3D測(cè)量：測(cè)量范圍1mm～0.5 μm；
體積、容積、表面積等3D測(cè)量；可測(cè)量透明膜厚度。
粗糙度分析：于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析；
是線粗糙度，面粗糙度也能檢測(cè)。

2）3D形貌

能獲得3D色彩等多種多樣的信息
等高線顯示、網(wǎng)格狀顯示等方式體現(xiàn)3D信息。
利用微分干涉可識(shí)別表面的更加細(xì)微的凹凸信息。

3）高分辨率觀察

顯示器倍率為14，400倍。接近SEM的放大率。
接近SEM的高對(duì)比度的解像度。
可以分辨常規(guī)顯微鏡所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
利用微分干涉進(jìn)一步提高分辨率。
實(shí)時(shí)觀察。
觀察范圍是2，560X2，560μm

關(guān)鍵詞：PA

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