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惠州市付氏高科有限公司


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電子束物理氣相沉積系統(tǒng)(EB-PVD)

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更新時間:2025-07-19 08:21:35瀏覽次數:29次

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產品簡介

電子束物理氣相沉積系統(tǒng)(EB-PVD)產品概述:電子束物理氣相沉積系統(tǒng)EB-PVD技術是以電子束作為熱源的一種蒸鍍方法,即利用高速運動的電子轟擊靶材表面,使材料升溫變成蒸汽而凝聚在基材表面的一種表面加工方法

詳細介紹



電子束物理氣相沉積系統(tǒng)(EB-PVD)


產品概述:

電子束物理氣相沉積系統(tǒng)EB-PVD技術是以電子束作為熱源的一種蒸鍍方法,即利用高速運動的電子轟擊靶材表面,使材料升溫變成蒸汽而凝聚在基材表面的一種表面加工方法。被廣泛用于制備熱障涂層、耐磨耐蝕涂層、高溫合金等鍍層材料,在航天航空領域有廣泛的用途。

特點:

        電子束物理氣相沉積系統(tǒng)(EBPVD)
        1
)蒸發(fā)速率較高,幾乎可以蒸發(fā)所有物質,可制備任意成分的鍍層材料。

        2)電子束電流大小易于調節(jié),束斑形狀、尺寸和位置易于控制,有利于精確控制鍍層的厚度。

        3)整個過程是在真空中進行的,可以防止鍍層材料被污染或氧化。

        4)在控制好工藝的條件下,可使鍍層材料與靶材中的相和元素含量保持一致,可以精確控制鍍層材料的化學組分。

        5)蒸汽粒子在基材表面結晶生長,使鍍層材料和基材具有良好的結合力。

   6)工藝參數:  

參數名稱 

數值 

1圓柱形零件尺寸,mm,不大于:

- 直徑 

- 長度 

 

220

750

2. 零件在水平桿上旋轉速度,轉/分鐘 

1-25

3. 坩堝數量,件 

3

4. 坩堝內直徑,mm

70

5. 蒸發(fā)靶材長度,mm,不大于 

500

6. 靶材進給速度,mm/min,范圍 

0,5 – 350

7. 坩堝上表面到零件旋轉軸或者沉積面的距離,mm

350

8.  電子槍數量及額定功率,n х kw:

   - 用于坩堝蒸發(fā)材料 

   - 用于預加熱零件 

  電子槍類型-冷陰極氣體放電 

3х100

1х30

9. 使用功率,KW,不超過 

   - 變壓器 

   - 輔助設備 

 

450

80

10. 額定工作加速電壓,kw

30

11. 工作真空度,Pa(Torr),范圍

6х10-3 – 6х10-2 (5х10-5 – 5х10-4)

12. 額定三相交流電電源電壓 50Hz, V

380

13.水冷壓力,Pa(kg/cm2) 范圍 

3х105 – 4х105 (3 – 4)

14. 水冷流量(溫度150С),m3/h,不超過 

15

15. 熱水壓力(60 – 800С), Pa(kg/cm2),范圍 

3х105 – 4х105 (3 – 4)

16. 熱水流量,m3/h,不超過 

0,5

17. 壓力4х105 – 5х105 Pa時空氣流量,m3/h,不超過 

1

18.: 設備總體尺寸, mm,不超過 

    -長度 

    -寬度 

    -高度 

 

11500

8500

4000

19. 設備質量(帶電源),t,不超過 

21,7

    涂層例

    1)如燃氣發(fā)動機葉片: 恢復(修復)葉片,延長其壽命

圖片6.png

左邊-無涂層   中間-帶金屬涂層    右邊-帶雙層金屬/陶瓷涂層

    2)帶有電子束及等離子涂層保護的燃汽輪機各種類型葉片及其他零件

     

   3)用于提高燃氣渦輪發(fā)動機鈦葉片壽命的電子束高阻尼硬性涂層

圖片11.png圖片13.png

  從無涂層葉片(1)與有30微米厚的防護涂層(2)葉片振動對數遞減振幅關系曲線看出,帶涂層的葉片阻尼水平比無涂層葉片高2-4倍。 

    50微米薄壁鈦葉片高阻尼硬性材料的涂層沉積,可降低其共振振幅(動力應力范圍)9倍,這樣可顯著延長燃氣渦輪發(fā)動機鈦葉片壽命及提高其整體使用的可靠性。



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